高端悬臂微芯片为您带来zui佳效果
Duo-/Octosensis 微悬臂阵列是具有单晶硅悬臂的芯片。这些悬臂梁传感器可用于静态和动态模式。因此，传感器可提供 1?m 和 5?m 的悬臂厚度。每种厚度有 3 种不同的长度可供选择：500?m、750?m 和 1000?m。
悬臂式传感器 DUOSENSIS
Duosensis 传感器每个芯片有 2 个悬臂梁。
悬臂式传感器 OCTOSENSIS
Octosensis 传感器每个芯片有 8 个悬臂梁。
微悬臂梁阵列都wu菌包装。应要求包装在不粘的 PMMA 载体中。
静态模式
弹簧常数 @ 1,0?m 悬臂厚度
- 23mN/m @ l=500?m
- 7mN/m @ l=750?m
- 3mN/m @ l=1000?m
弹簧常数 @ 1,0?m 悬臂厚度
- 23mN/m @ l=500?m
- 7mN/m @ l=750?m
- 3mN/m @ l=1000?m
动态模式
共振频率 @ 5,0 mm 悬臂厚度
- 24,3 kHz @ l=500?m
- 10,8 kHz @ l=750?m
- 6,1 kHz @ l=1000?m
共振频率 @ 5,0 mm 悬臂厚度
- 24,3 kHz @ l=500?m
- 10,8 kHz @ l=750?m
- 6,1 kHz @ l=1000?m
更多悬臂尺寸
一个芯片内的厚度 +- 50nm
长度变化 +- 4?m
悬臂宽度 90 +- 2?m
悬臂间距 250?m
一个芯片内的厚度 +- 50nm
长度变化 +- 4?m
悬臂宽度 90 +- 2?m
悬臂间距 250?m
悬臂式传感器 DUOSENIS 或 OCTOSENSIS
都可以在不同类型的精度之间进行选择
-
下公差等级：
300nm厚度公差 -
精雀的共振频率：
定义明确的支撑
-
每个悬臂测量
精度为 +/- 20nm - 每个连接的悬臂的协议
- 适用于原子力显微镜的校准
- zui高公差等级：50nm厚度公差
- 每个悬臂测量精度为 +/- 20nm
- 附加的每个悬臂的协议
- 适用于原子力显微镜的校准
